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LPS <5µrad
Das nennt man Führungsgenauigkeit!
LPS <5µrad
Das nennt man Führungsgenauigkeit!
Das nennt man Führungsgenauigkeit!
LPS-Lineartisch, 500 µm
Nicken/Gieren <5µrad @ 500 µm
gemessen mit unserem Präzisions-Autokollimator
Kategorien:
Nano-Positionierung
,
Piezo-Tische 1D-3D
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