C1a X-Tische, 100 µm

C1O-L00100 and C1S-D00100 sind kleine X-Tische. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm. Steifigkeit und niedrigste Resonanz sind vergleichsweise hoch, so dass diese Tischlein hochdynamisch zu betreiben sind.

  • Stellweg >100 µm
  • steif und dynamisch
  • Maße 40x40x20 mm

Produkt-Nummer C1O-L00100 C1S-D00100 Einheit
Positions-Sensor DMS
Stellweg (-45..180 V) 120 120 µm
Stellweg, geregelt 100 µm
Auflösung, ungeregelt 0.5 0.5 nm
Auflösung, geregelt 1 nm
Linearität, geregelt 0.2 %
Wiederholbarkeit, geregelt 10 nm
Last 500 g
Druck/Zug 15/10 N
Steifigkeit 1.5 N/µm
Resonanz, ohne Last 370 Hz
Resonanz, mit 30g Last 310 Hz
El. Kapazität bei 1V eff. 1kHz 2.2 µf
Material Aluminium, Edelstahl
Maße 40x40x20 mm
Kabellänge 1.5 m
Anschluss Lemosa DSub15
Betriebstemperatur -20.. +80

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060310

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