SF_ StraightFocus 100-800 µm

Bei den SFC/SFS StraightFocus handelt es sich um Versteller für Mikroskopobjektive mit großen Stellwegen. StraightFocus sind optimiert hinsichtlich Führungsgenauigkeit. Es gibt jeweils Ausführungen ohne Sensoren, mit Dehnungssensoren (SFS) und kapazitive Sensoren (SFC). Letztere bieten die höchste Positioniergenauigkeit.

  • 100/400/800 µm
  • Geradführung
  • kap. oder DMS-Sensoren
  • Gewinde wählbar
Produkt-Code SF_-D20100 SF_-D20400 SF_-D20800 Einheit
Stellweg, Closed Loop 100 400 800 µm
Stellweg, Open Loop (-45..180 V) 120 480 960 µm
Auflösung, SFC
Auflösung, SFS
0.5
1.5
2
6
4
12
nm
Linearität, SFC
Linearität, SFS
0.02
0.2
%
Nicken/Gieren 10 30 60 µrad
Reproduzierbarkeit, SFC
Reproduzierbarkeit, SFS
10
20
30
50
50
80
nm
Druck/Zug 15/20 15/20 10/20 N
Steifigkeit 0.5 0.25 0.09 N/µm
Resonanz, unbelastet 680 400 230 Hz
Electr. Kap. @ 1V eff, 1kHz 1.1 3.3 6.6 µF
Grundkörper, Material Aluminium/Edelstahl
Betriebstemperatur -20..80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit oder unmagnetisch
  • Passender Controller für SFC, EBC-120310
  • Passender Controller für SFS, EBD-120310

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