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MegaFocus 1200 µm

MegaFocus sind Positionierer mit sagenhaften 1,2 mm Stellweg. Die Regelung über den integrierten kapazitiven Sensor bringt höchste Positioniergenauigkeit. Es gibt auch eine Version ohne Sensor.

  • 1200 µm
  • Geradführung
  • kapazitiver Sensor
  • Gewinde wählbar
Kategorien: Mikroskopie, Nano-Positionierung, Objektiv-Versteller
Produkt-Bezeichnung SFC-D21200 Einheit
Positions-Sensor kapazitiv
Stellweg, geregelt 1200 µm
Auflösung, geregelt 6 nm
Linearität, geregelt 0,02 %
Wiederholbarkeit, 100 µm 60 nm
Nicken/Gieren 60 µrad
Druck/Zug 10 N
Last 150 g
Steifigkeit 0,07 N/µm
Resonanz, unbelastet 200 Hz
Resonanz, 150g Last 100 Hz
Elektr. Kap. @ 1V eff., 1kHz 13 µF
Material, Grundkörper Aluminium/Edelstahl
Kabellänge 1,5 m
Betriebstemperatur -20..80 °C

Optionen

  • Open-Loop Version
  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBC-120310

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