Sonderentwicklungen, Mechanik

- UHV, 120°C ausheizbar
- 100×100 µm
- Kapazitive Sensoren
- strahlungsresistent

- 200µm Stellweg
- 6 Freiheitsgrade
- Last bis 30 kg
Sonderentwicklungen, Elektronik

Standard OEM-Elektronik

- 1-3 Kanäle
- Piezo/Dehn- oder kap. Sensoren
- Ethernet, USB, Analog

- Piezo/DMS
- USB
- Analog

Treiber, OEM-Platine
- Ausgang -45..+180V
- bis 100 mA
- Analogeingang einstellbar
- kurzschlussfest

- Ausgang -45..+180V
- bis 100 mA
- Analogeingang -3..+12V
- kurzschlussfest