- >100×100 µm
- steif und dynamisch
- Maße 40x40x30 mm
| Produktnummer | C2O-L00100 | C2S-D00100 | Einheit |
| Positions-Sensor | – | DMS | |
| Stellweg (-45..180 V) | 120×120 | 120×120 | µm |
| Stellweg, geregelt | – | 100×100 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 0,5 | 0,5 | nm |
| Auflösung, geregelt | – | 1 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit, geregelt | – | 10 | nm |
| Systematisches Übersprechen | 200 | nm | |
| Last | 500 | g | |
| Druck/Zug | 15/10 | N | |
| Steifigkeit | 1,5 | N/µm | |
| Resonanz, unbelastet | 370 | Hz | |
| Resonanz, mit 30g Last | 310 | Hz | |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 2.2/Achse | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Maße | 40x40x30 | mm | |
| Kabellänge | 1.5 | m | |
| Anschlüsse | Lemosa | DSub | |
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |
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