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C2a XY-Tische, 600 µm

C2O-L00600 und C2S-D00600 sind kompakte Kreuztische, welche bis 900 Stellweg zur Verfügung stellen. Die Maße betragen nur 60x60x33 mm.

  • 720×720 µm
  • Maße 60x60x33 mm
Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, XY-Tische
Produktnummer C2O-L00600 C2S-D00600 Einheit
Positions-Sensor – DMS
Stellweg (-45..180 V) 900×900 900×900 µm
Stellweg, geregelt – 600×600 µm
Auflösung, ungeregelt 4 4 nm
Auflösung, geregelt – 6 nm
Linearität, geregelt – 0,2 %
Wiederholbarkeit, geregelt – 50 nm
Druck/Zug 50/20 N
Steifigkeit 0.15 N/µm
Resonanz, unbelastet 190/145 Hz
El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz 4.4/Achse µF
Material Aluminium, Edelstahl
Maße 60x60x33 mm
Kabellänge 1.5 m
Anschluss Lemosa DSub
Betriebstemperatur -20..+80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060320

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