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C3a CUBE XYZ-Tische, 100 µm

C3O-L00100 (open-loop) und C3S-D00100 (closed loop) sind kleine 3D-Positioniertische. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm. Steifigkeit und niedrigste Resonanz sind vergleichsweise hoch, so dass diese Tischlein dynamisch betrieben werden können.

  • 100x100x100 µm
  • 40x40x44 mm
  • steif und dynamisch
Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, XYZ-Tische
Produktnummer C3O-L00100 C3S-D00100 Einheit
Positionssensor – DMS
Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) 120 120 µm
Stellweg, geregelt – 100 µm
Auflösung, ungeregelt 0,5 0,5 nm
Auflösung, geregelt – 1 nm
Linearität, geregelt – 0,2 %
Wiederholbarkeit, geregelt – 10 nm
Systematisches Übersprechen 200 nm
Last 500 g
Druck/Zug 15/10 N
Steifigkeit 1,5 N/µm
Resonanz, unbelastet 370 Hz
Resonanz mit 30g Last 310 Hz
El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz 2.2/Achse µF
Material Aluminium, Edelstahl
Maße 40x40x44.6 mm
Masse 230 g
Kabellänge 1,5 m
Anschlüsse Lemosa DSub
Betriebstemperatur -20.. 80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060330

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