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C3a CUBE XYZ-Tische, 250 µm

C3O-L00250 (open-loop) und C3S-D00250 (closed loop) sind kleine 3D-Positioniertische. Es stehen große Stellwege von 250µm bei nur kleinem Bauvolumen von nur 40x40x44,6 mm zur Verfügung.

  • 300x300x300 µm
  • Maße 40x40x44 mm
  • opt. unmagnetisch
Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, XYZ-Tische
Produktnummer C3O-L00250 C3S-D00250 Einheit
Positionssensor – DMS
Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) 330 330 µm
Stellweg, geregelt – 250 µm
Auflösung, ungeregelt 1,5 1,5 nm
Auflösung, geregelt – 2,5 nm
Linearität, geregelt – 0,2 %
Wiederholbarkeit, geregelt – 25 nm
Systematisches Übersprechen 900 nm
Last 150 g
Druck/Zug 15/10 N
Steifigkeit 0,4 N/µm
Resonanz, unbelastet 210 Hz
Resonanz mit 30g Last 190 Hz
El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz 2.2/Achse µF
Material Aluminium, Edelstahl
Maße 40x40x44.6 mm
Masse 230 g
Kabellänge 1,5 m
Anschlüsse Lemosa DSub
Betriebstemperatur -20.. 80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060330

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