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C3a CUBE XYZ-Tische, 600 µm

C3O-L00600 (open-loop) und C3S-D00600 (closed-loop) sind kompakte 3D-Positioniertische, welche bis 900 Stellweg zur Verfügung stellen. Die Maße betragen nur 60x60x52 mm.

  • 720x720x600 µm
  • Maße 60x60x52 mm
Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, XYZ-Tische
Produktnummer C3O-L00600 C3S-D00600 Einheit
Positionssensor – DMS
Stellweg (-45..180 V) 900x900x600 900x900x600 µm
Stellweg, geregelt – 600x600x500 µm
Auflösung, ungeregelt 4 4 nm
Auflösung, geregelt – 6 nm
Linearität, geregelt – 0,2 %
Wiederholbarkeit, geregelt – 50 nm
Last 200 g
Druck/Zug 50/20 N
Steifigkeit 0,15 N/µm
Resonanz, unbelastet 190/145/130 Hz
El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz 4.4/Achse µF
Material Aluminium, Edelstahl
Maße 60x60x52 mm
Kabellänge 1,5 m
Anschluss Lemosa DSub
Betriebstemperatur -20.. 80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060330

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