CPa Z-Tische, 100 µm

CPO-L00100 (open-loop) und CPS-D00100 (closed-loop) sind Z-Tische mit kleinsten Maßen. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm.

Produktnummer	CPO-L00100	CPS-D00100	Einheit
Positions-Sensor		DMS, Vollbrücke
Stellweg, geregelt	–	100	µm
Stellweg, ungeregelt (-45..180 V)	120		nm
Auflösung, ungeregelt	0.5		nm
Auflösung, geregelt	–	1	nm
Linearität, geregelt	–	0.2	%
Wiederholbarkeit	–	10	nm
Druck/Zug	15/10		N
Laterale Kraft	10		N
Steifigkeit	1.5		N/µm
Resonanz, ohne Last	370		Hz
Resonanz, mit 100 g Last	310		Hz
Elektrische-Kapazität bei 1V eff, 1kHz	2.2		µf
Körpermaterial	Aluminium, Edelstahl
Kabellänge	1.5		m
Anschluss	Lemo	DSub15
Betriebstemperatur	-20.. +80		℃

Optionen

Datenblatt Zeichnung