CPa Z-Tische, 250 µm

CPO-L00250 und CPS-D00250 sind Z-Tische mit kleinsten Maßen, dabei kleinsten Maßen. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm.

  • Stellweg >300 µm
  • Maße 40x40x30 mm
Produktnummer CPO-L00250 CPS-D00250 Einheit
Positions-Sensor DMS, Vollbrücke
Stellweg, geregelt 250 µm
Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) 300 µm
Auflösung, ungeregelt 1,5 nm
Auflösung, geregelt 2,5 nm
Linearität, geregelt 0,2 %
Wiederholbarkeit 25 nm
Druck/Zug 15/10 N
Laterale Kraft 10 N
Steifigkeit 0,2 N/µm
Resonanz, ohne Last 210 Hz
Resonanz, mit 100 g Last 190 Hz
Elektrische-Kapazität bei 1V eff, 1kHz 2,2 µF
Material Aluminium, Edelstahl
Kabellänge 1.5 1.5
Anschluss Lemo DSub15
Betriebstemperatur -20..+80

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060310

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