L2C XY-Tisch, 100 µm, Apertur

Die hier beschriebenen L2C-D10100 Piezotische werden wegen ihrer geringen Höhe (30 mm) und der Apertur (66×66 mm) überwiegend zum dynamischen Flächenrastern (Scannen) eingesetzt. Die Stellwege in XY jeweils100 µm. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Dank der kapazitiven Sensoren ist die Positioniergenauigkeit einzigartig. Diese Tische gibt es auch mit zusätzlicher Z-Achse oder als Ausführungen mit großem Stellweg.

  • 100×100 µm
  • große Apertur
  • hochdynamisch
Produkt-Nummer L2C-D10100 Einheit
Positionssensoren Kapazitiv (Cap)
Stellwege XY, closed loop 100×100 µm
Auflösung, closed loop 0,5 nm
Linearität, closed loop 0,02 %
Wiederholbarkeit 5 nm
Resonanz, unbelastet 1100 Hz
Resonanz mit 2,5 kg Last 500 Hz
El. Kapazität @ 1Veff 1kHz 13.2 µF
Grundkörper/Plattform, Material Aluminium, schwarz eloxiert
Masse 1 kg
Betriebstemperatur -20.. 80 °C
Anschluss DSub25
Kabellänge 1,5 m

Optionen

  • Vakuumtauglichkeit und/oder unmagnetisch
  • Passender Controller, EBC-120320

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