- 100×100 µm
- große Apertur
- hochdynamisch
| Produkt-Nummer | L2C-D10100 | Einheit | ||
| Positionssensoren | Kapazitiv (Cap) | |||
| Stellwege XY, closed loop | 100×100 | µm | ||
| Auflösung, closed loop | 0,5 | nm | ||
| Linearität, closed loop | 0,02 | % | ||
| Wiederholbarkeit | 5 | nm | ||
| Resonanz, unbelastet | 1100 | Hz | ||
| Resonanz mit 2,5 kg Last | 500 | Hz | ||
| El. Kapazität @ 1Veff 1kHz | 13.2 | µF | ||
| Grundkörper/Plattform, Material | Aluminium, schwarz eloxiert | |||
| Masse | 1 | kg | ||
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | ||
| Anschluss | DSub25 | |||
| Kabellänge | 1,5 | m | ||
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