L3C XYZ-Tische, 100 µm, Apertur

L3C-D10100 Tische sind optimiert für das schnellste Rastern und Nachführen (Scanning&Tracking). In X und Y stehen je 100 µm Stellweg zur Verfügung. Diese Tische sind ideal für die Atomic-Force- und die Nahfeld-Mikroskopie. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Es gibt Varianten mit verschiedenen Z-Stellwegen, damit Anwendungen mit hoher Dynamik und feiner Auflösung genauso bedient werden können wie solche, welche größere Höhenvariationen abdecken.

  • XY 100×100 µm
  • Z 20/50/100/100 µm
  • Scan-Tische, hochdynamisch
Produkt-Nummer, L3C-D10100-.. XY100Z20 XY100Z50 XY100Z100 Unit
Positions-Sensoren kapazitiv (kap)
Stellwege, geregelt 100/100/20 100/100/50 100/100/100 µm
Stellwege, -45..+180V 140/140/24 140/140/60 140/140/120 µm
Auflösung, XY/Z 0,5/0,1 0,5/0,3 0,5 nm
Linearität, XY/Z 0,02/0,07 %
Wiederholbarkeit, XY/Z 5/2 5/3 5 nm
Resonanz, XY, unbelastet 1100 Hz
Resonanz, Z, unbelastet 1200 760 730 Hz
El. Kapazität @ 1Veff 1kHz XY13,2/Z4,4 XY13,2/Z4,4 XY13,2/Z8,8 µF
Maße (LxWxH) 150x150x30 mm
Apertur, Maße (LxW) 66×66 mm
Material, Körper, Plattform Aluminium, schwarz eloxiert
Masse 1,45 kg
Betriebstemperatur -20..+80 °C
Anschluss DSub25
Kabellänge 1.5 m

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit und unmagnetisch
  • Controller für LPC, EBC-120330
  • Controller für LPS, EBD-060330

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