LP_ X/Z-Tische, 100-1000µm – Nanofaktur

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LP_ X/Z-Tische, 100-1000µm

Bei unseren LPC/LPS handelt es sich um kleine Lineartische mit großen Stellwegen. Die Geradführung ist optimiert – insbesondere bei Nutzung der zusätzlichen stirnseitigen Plattform.

100/300/600/1000 µm
kompakt
2 Abtriebe

Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, X-Tische

Produkt-Nummer	LP_-D00100	LP_-D00300	LP_-D00600	LP_-D01000	Einheit

Stellweg, Closed-Loop	100	300	600	1000	µm
Auflösung, LPC Auflösung, LPS	0.5 1.5	1.5 5	3.0 9	5 15	nm
Linearität, LPC Linearität, LPS	0.02 0.2				%
Reproduzierbarkeit, LPC Reproduzierbarkeit, LPS	5 10	10 25	20 70	30 100	nm
Nicken/Gieren	±3	±3	±6	±10	µrad
Last	1				Kg
Druck/Zug	50/20		30/10		N
Steifigkeit	1,6	0,3	0,15	0.15	N/µm
Resonanz, unbelastet	900	425	225	200	Hz
El, Kapazität @ 1V eff. 1kHz	2,2	3,3	4,4	7,7	µF
Material	Edelstahl/Aluminium
Betriebstemperatur	-20..80				°C

Optionen

Vakuum-Tauglichkeit
Controller für LPC, EBC-120310
Controller für LPS, EBD-060310

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Datenblatt Zeichnung

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