PPa Parallel-Hebel

PPO und PPS Hebel werden von unseren überlegenen MPO Piezostapeln angetrieben. Die große Dehnung dieser Stapel erlaubt kompaktere Konstruktionen bei gleichen Abmaßen. Wegübersetzung und Führung werden mittels elektroerodierten Festkörpergelenken (Flexures) umgesetzt. Mit Flexures wird Reibung (Abnutzung, Ungenauigkeit) vermieden – ebenso Mikrorisse, welche die Lebensdauer gefährden würden. Die bewegliche Plattform (10×13 mm) wird parallel geführt. Damit sind PPa für z.B. Spiegelverstellungen ideal.

 

PPS sind mit Dehnungssensoren in Vollbrückenschaltung ausgestattet, welche für temperaturkompensierte Messung und Positionskontrolle sorgen.

  • Bis 1.5 mm
  • geführt
  • opt. Sensor
  • 60 V Versionen
Produktnummer PPa-b00100 PPa-b00250 PPa-b00500 PPa-b01000 Einheit
Auslenkung (-45..180 V) 130 310 580 1100 µm
Positionsauflösung, ungeregelt 0,2 0,3 0,5 1 nm
Positionsauflösung, geregelt 1 2 5 10 nm
Linearität, closed loop 0,1 0,2 %
Wiederholgenauigkeit 7 10 30 60 nm
Druck/Zug 50/20 30/15 N
Laterale Last 40 30 N
Steifigkeit 0,85 0,5 0,22 0,11 N/µm
Resonanz, unbelastet 850 630 340 210 Hz
Elektrische Kapazität @ 1V eff, 1kHz 1,1 3,3 4,4 7,7 µF
Gehäusematerial Edelstahl
Länge L 45 59 69 99 mm
Höhe H 20 20 22,5 22,5 mm
Masse 55 82 107 145 g
Betriebstemperatur -20..80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, ungeregelt, EBO-060100
  • Passender Controller, geregelt, EBD-060310

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