- 100/400/800 µm
- Geradführung
- kap. oder DMS-Sensoren
- Gewinde wählbar
| Produkt-Code | SF_-D20100 | SF_-D20400 | SF_-D20800 | Einheit |
| Stellweg, Closed Loop | 100 | 400 | 800 | µm |
| Stellweg, Open Loop (-45..180 V) | 120 | 480 | 960 | µm |
| Auflösung, SFC Auflösung, SFS |
0.5 1.5 |
2 6 |
4 12 |
nm |
| Linearität, SFC Linearität, SFS |
0.02 0.2 |
% | ||
| Nicken/Gieren | 10 | 30 | 60 | µrad |
| Reproduzierbarkeit, SFC Reproduzierbarkeit, SFS |
10 20 |
30 50 |
50 80 |
nm |
| Druck/Zug | 15/20 | 15/20 | 10/20 | N |
| Steifigkeit | 0.5 | 0.25 | 0.09 | N/µm |
| Resonanz, unbelastet | 680 | 400 | 230 | Hz |
| Electr. Kap. @ 1V eff, 1kHz | 1.1 | 3.3 | 6.6 | µF |
| Grundkörper, Material | Aluminium/Edelstahl | |||
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C | ||
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