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SFS RangeFocus 100-600 µm

Bei den SFS RangeFocus handelt es sich um Versteller mit großen Stellwegen für Mikroskopobjektive. Die Höhe der Grundkörper ist klein gehalten, damit viel vom kostbaren Platz im Bereich nahe der Probe für die Handhabung zur Verfügung steht. Es gibt jeweils Ausführungen ohne Sensoren.

  • 100/300/600 µm
  • kompakt
  • Gewinde wählbar
Kategorien: Mikroskopie, Nano-Positionierung, Objektiv-Versteller
Produktnummer SFS-D10100 SFS-D10300 SFS-D10600 Einheit
Positionssensor DMS, Vollbrücke
Stellweg, geregelt 100 300 600 µm
Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) 130 370 680 µm
Auflösung, geregelt 0.5 1 2 nm
Auflösung, ungeregelt 1.0 3 6 nm
Linearität, geregelt 0.2 0.2 0,2 %
Nicken, Gieren 8 30 40 µrad
Wiederholgenauigkeit 10 28 50 nm
Druck/Zug 15/20 15/20 10/20 N
Steifigkeit 0.38 0.22 0.2 N/µm
Resonanz, mit Adapter 470 310 250 Hz
Elektr. Kapazität @ 1V eff, 1kHz 1.1 3.3 6.6 µF
Material, Grundkörper Aluminium/Edelstahl
Betriebstemperatur -20..80 °C

Optionen

  • Open-Loop Version
  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060310

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