SFS SlimFocus

SFS-D00200 SlimFocus sind so konstruiert, dass der Anwender vollständig freien Zugang zum Objektiv und zur Probe behält. Der Stellweg beträgt 200 µm.

Produktnummer	SFS-D00200	Einheit
Positionssensor	DMS, Vollbrücke
Auslenkung, Closed Loop	200	µm
Auslenkung, Open Loop (-45..180 V)	250	µm
Positionsauflösung, open loop	1	nm
Positionsauflösung, closed loop	2	nm
Linearität, closed loop	0,2	%
Wiederholgenauigkeit	20	nm
Last	130	g
Druck/Zug	10/5	N
Laterale Last	5	N
Steifigkeit	0,1	N/µm
Resonanz, mit Gewindeadapter	200	Hz
Resonanz, mit 125 g Objektiv	80	Hz
Elektrische Kapazität @ 1V eff, 1kHz	2,2	µF
Elektrischer Anschluss	Systemkabel, 1,5 m, DSub15
Gehäusematerial	Aluminium/Edelstahl
Masse, ohne/mit Gewindeadapter	80/140	g
Betriebstemperatur	-20.. 80	°C

Optionen

Open-Loop Version
Vakuum-Tauglichkeit
Unmagnetisch
Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
Passender Controller, closed-loop, EBD-060310

Datenblatt Zeichnung