CPa Z-Tische, 500 µm

CPO-L00500 (open-loop) und CPS-D00500 (closed loop) sind kompakte Z-Tische, welche große Stellwege bei kleinen Dimensionen liefern. Die Grundfläche beträgt nur 60×60 mm.

  • Stellweg 500 µm
  • Maße 60x60x29 mm
Produktnummer CPO-L00500 CPS-D00500 Einheit
Positions-Sensor DMS, Vollbrücke
Stellweg, geregelt 500 µm
Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) 600 µm
Auflösung, ungeregelt 3 nm
Auflösung, geregelt 5 nm
Linearität, geregelt 0,2 %
Wiederholbarkeit 50 nm
Druck/Zug 40/20 N
Laterale Kraft 10 N
Steifigkeit 0,15 N/µm
Resonanz, ohne Last 260 Hz
Resonanz, mit 100 g Last 180 Hz
Elektrische-Kapazität bei 1V eff, 1kHz 4,4 µF
Material Aluminium, Edelstahl
Kabellänge 1.5 1.5
Anschluss Lemo DSub15
Betriebstemperatur -20..+80

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060310

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