C2a XY-Tische, 250 µm

C2O-L00100 and C2S-D00100 sind kleine Kreuztische. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm. Steifigkeit und niedrigste Resonanz sind vergleichsweise hoch, so dass diese Tischlein dynamisch zu betreiben sind.

  • >300×300 µm
  • Maße 40x40x30 mm
  • opt. unmagnetisch
Produktnummer C2O-L00250 C2S-D00250 Einheit
Positions-Sensor DMS
Stellweg (-45..180 V) 330×330 330×330 µm
Stellweg, geregelt 250×250 µm
Auflösung, ungeregelt 1 1 nm
Auflösung, geregelt 3 nm
Linearität, geregelt 0.2 %
Wiederholbarkeit, geregelt 25 nm
Systematisches Übersprechen 900 nm
Last 150 g
Druck/Zug 15/10 N
Steifigkeit 0.4 N/µm
Resonanz, unbelastet 210 Hz
Resonanz, mit 30g Last 190 Hz
El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz 2.2/Achse µF
Material Aluminium, Edelstahl
Maße 40x40x30 mm
Kabellänge 1.5 m
Anschlüsse Lemosa DSub
Betriebstemperatur -20.. 80 °C

Optionen

  • Vakuum-Tauglichkeit
  • Unmagnetisch
  • Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
  • Passender Controller, closed-loop, EBD-060320

Downloads