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L2C XY-Tische, 100-1200 µm

L2C-D0xxxx sind kompakte und dabei ultra-präzise XY-Piezotische. Die Stellwege betragen 100 bis 1200 µm. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung.

  • 100 bis 1200 µm
  • kapazitive Sensoren
  • kompakt
Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, XY-Tische
Produkt-Nummer L2C-D00100 L2C-D00300 L2C-D00600 L2C-D01200 Einheit
Stellweg, Closed-Loop 100 300 600 1200 µm
Auflösung 0.5 1.5 3.0 6 nm
Linearität 0.02
Reproduzierbarkeit 5 20 40 80 nm
Nicken/Gieren ±3 ±3 ±6 ±12 µrad
Last 1 kg
Druck/Zug 50/20 30/10 N
Steifigkeit 1.6 0.3 0.15 0.1 N/µm
Resonanz, unbelastet 900 425 225 150 Hz
El, Kapazität @ 1V eff. 1kHz 2.2 3.3 4.4 13.2 µF
Material Edelstahl/Aluminium
Betriebstemperatur -20..80 °C

Optionen

  • Vakuumtauglichkeit
  • Passstifte
  • Passender Controller: EBC-120320

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Datenblatt Zeichnung
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