• Bis 600 x 600 x 300 µm
• Kapazitive oder Dehnungs-Sensoren
• Versionen für Vakuum oder unmagnetisch

Das nennt man Führungsgenauigkeit!

• LPS-Lineartisch, 500 µm
• Nicken/Gieren <5µrad @ 500 µm
• gemessen mit unserem Präzisions-Autokollimator

Schneide-Prozesse verbessern

• Schwingen parallel oder senkrecht zur Schneidkante
• Systeme auch für elliptisches Schwingen
• bis mehr als 1 kHz
• bis mehr als 1 mm (50 Hz)

C3S Miniaturtisch

• 600x600x500 µm
• für UHV(10^-9 hPa)
• unmagnetisch
• Durchführungen