Weißlicht-Interferometrie:
Piezosysteme eignen sich besonders gut für die WLI, denn sie
– bieten erforderliche absolute Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich
– bieten eine sehr kompakte Bauweise
– nutzen wartungsfreie Antriebstechnik
Empfohlene Produkte: L1C-D00300, SFC-D20400, EBC-060310
Wafer-Inspektion und Hybrid Bonding
In der Halbleiterindustrie sind absolute Positioniergenauigkeiten und hohe Positionsstabilitäten im Nanometer-Bereich entscheidend.
Von der maskenlosen Lithographie (Direct Imaging) über Wafer Inspektion und Metrologie-Anwendungen bis hin zu Advanced Packaging – Methoden wie Hybrid Bonding; Prozesse wie Wafer2Wafer oder Wafer2Die Bonding erfordern exakte Ausrichtung des Wafers und Einstellung der optischen Fokussierung über mehrere Minuten.
Unsere Piezo-Nanopositioniersysteme gewährleisten die absolutgenaue Positionierung der Wafer und der Prozessoptik und im Gegensatz zu elektromagnetischen Antriebstechniken ohne Einbringen thermischer Drifts. Jeder Prozessschritt läuft somit zuverlässig und reproduzierbar ab – mit Auflösungen im Sub-Nanometer-Bereich.
Empfohlene Produkte: L3x-D10300-XY300Z100 und SFC-D20400
Krebsdiagnostik und Zellanalyse
In der Krebsdiagnostik, Zellanalyse und Genomsequenzierung erfordern spektroskopische Verfahren sehr präzise Positionierung im Submikrometerbereich.
Unsere kompakten Piezo-Nanopositioniersysteme bieten schnelle, stabile Bewegungen bei minimalem Platzbedarf. Dadurch werden Messungen zuverlässiger, der Durchsatz steigt und Laborprozesse laufen effizienter ab.
Vorteile:
- Schnellere Analysen und höhere Probenkapazität
- Präzisere Ergebnisse für zuverlässig interpretierbare Daten
- Platzsparende Integration in bestehende und zukünftige Laborgeräte
Empfohlene Produkte: SFC-D20400, SFS-D10100
Elektro-optisches Wafer-Probing in der Fertigung von PICs und Silicon Photonics
In der Fertigung von Photonisch Integrierten Schaltungen (PICs) und siliziumphotonischen Komponenten bestimmt die Ausrichtungszeit beim Testen der optischen Ein- und Ausgänge maßgeblich die Effizienz und Kosten.
Unsere piezobasierten Positioniersysteme von NanoFaktur ermöglichen Nanometerauflösung, hohe Dynamik und spielfreie Bewegung. Damit lassen sich optische Fasern, Wellenleiter und Chips deutlich schneller und präziser ausrichten als mit konventionellen Antrieben.
In Kombination mit autonomen Ausrichtungsalgorithmen steigern die Systeme den Durchsatz, verbessern die Wiederholgenauigkeit und ermöglichen eine hochautomatisierte Produktion. Besonders bei der parallelen Array-Ausrichtung sichern unsere Piezo-Lösungen Skalierbarkeit, höhere Ausbeute und geringere Stückkosten – zentrale Voraussetzungen für die wirtschaftliche Massenfertigung siliziumphotonischer Bauteile und PICs.
Vorteile:
- Nanometergenaue verschleißfreie Positionierung von Fasern, Wellenleitern und Chips
- Dynamische Scan-Bewegungen und intelligente Algorithmen für minimale Ausrichtungszeiten und gesteigerten Durchsatz
- Optimale Integration in Test- und Fertigungs-Setups
Empfohlene Produkte: C3S-D00100; C3S-D00600
Hochauflösende Mikroskopie
In der hochauflösenden Mikroskopie werden häufig schnelle Z-Stacks aufgenommen, also hunderte Bilder einer Probe in unterschiedlichen Z-Ebenen. Diese ermöglichen die Erstellung von 3D-Modellen von Zellkulturen, Enzymen, DNA oder anderen biologischen Proben.
Unsere Piezopositioniersysteme bieten präzise Nanometer-genaue Positionierung und hohe Wiederholgenauigkeit. Sie ermöglichen die Bewegung der Probe oder des Objektivs, um den Fokus des Mikropobjektivs exakt zu steuern.
Dank schneller Trigger-Eingänge lassen sich Kamerasysteme optimal synchronisieren. Dies ist besonders relevant für konfokale 3D‑Fluoreszenz‑Bildgebung, Superauflösungs-Mikroskopie (STED, PALM, SIM) oder Live-Cell Imaging mit hoher zeitlicher und räumlicher Auflösung.
Vorteile:
- Nanometergenaue Z-Verstellung
- Stabile Positionierung über Minuten
- Flexible Bewegung von Probe oder Objektiv
- Optimale Integration in Mikroskopie-Setups (kundenspezifische Designs)
Empfohlene Produkte: SFC-D20400, SPS-D00600, EBx-060310