Die hier beschriebenen L2C und L2S Piezotische werden wegen ihrer geringen Höhe (30 mm) und der Apertur (66×66 mm) überwiegend zum Flächenrastern (Scannen) eingesetzt. Die Stellwege betragen 300 oder 600 µm. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Die Versionen L2C erzielen absolut Top-Positioniergenauigkeit dank der kapazitiven Sensoren. Diese Tische gibt es auch mit zusätzlicher Z-Achse oder als hochdynamische Ausführung.