L2S XY-Tisch, 1mm, Apertur

L2S-D01000 ist ein Kreuztisch mit großem Stellweg in Verbindung mit einer großen Apertur. Die Stellplattform ist leichtgewichtet.

Produktnummer	L2S-D01000	Einheit
Positionssensor	DMS, Vollbrücke
Stellweg, geregelt	1000	µm
Stellweg, ungeregelt	1000	µm
Auflösung, ungeregelt	5	nm
Auflösung, geregelt	10	nm
Linearität, geregelt	0,2	%
Wiederholbarkeit	50	nm
Druck/Zug	10	N
Last	0.2	kg
Laterale Kraft	10	N
Steifigkeit	0,2	N/µm
Resonanz, unbelastet	105	Hz
Resonanz mit 200 g Last	80	Hz
Elektrische Kapazität @ 1V eff, 1kHz	19,8/Achse	µF
Material	Aluminium/Edelstahl
Operating Temperature	-20..80	°C

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Datenblatt Zeichnung