L3_ XYZ-Tische, 300 µm, Apertur

L3C- und L3S-Tische sind optimiert für Rastern und Nachführen (Scanning&Tracking). In X und Y stehen je 300 µm Stellweg zur Verfügung. Diese Tische sind ideal für die Atomic-Force- und die Nahfeld-Mikroskopie. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Es gibt Varianten mit verschiedenen Z-Stellwegen, damit Anwendungen mit hoher Dynamik und feiner Auflösung genauso bedient werden können wie solche, welche größere Höhenvariationen abdecken.

XY 300×300 µm
Z 20/50/100/300 µm
Scan-Tische

Kategorien: Nano-Positionierung, Piezo-Tische 1D-3D, XYZ-Tische

Produktnummer, L3_D10300-..	XY300Z20	XY300Z50	XY300Z100	XYZ300	Einheit

Positionssensoren	Kapazitive Sensoren (L3C), Dehnungssensoren (L3S)
Stellwege, geregelt	300/300/20	300/300/50	300/300/100	300/300/300	µm
Stellwege, -45,, 180V	480/480/24	480/480/60	480/480/120	480/480/360	µm
Auflösung, L3C, XY/Z Auflösung, L3S, XY/Z	1,5/0,1 3/0,2	1,5/0,3 3/0,3	1,5/0,5 3/0,5	1,5 3/3	nm
Linearität, L3C, XY/Z Linearität, L3S	0,02/0,07 0,2				%
Wiederholbarkeit, L3C, XY/Z Wiederholbarkeit, L3S, XY/Z	15/1 30/2	15/3 30/5	15/5 30/10	15/15 30/30	nm
Resonanz, XY, unbelastet	185				Hz
Resonanz, Z, unbelastet	680	600	580	450	Hz
El. Kapazität @ 1Veff 1kHz	XY13,2/Z4,4		XY13,2/Z8,8	XY13,2/Z13,2	µF
Maße (LxWxH)	150x150x30				mm
Apertur, Maße (LxB)	66×66				mm
Material, Körper, Plattform	Aluminium, schwarz eloxiert
Masse	1,45				kg
Kabellänge	1,5				m
Anschluss	DSub25
Betriebstemperatur	-20.. 80				°C

Optionen

Vakuum-Tauglichkeit und unmagnetisch
Controller für LPC, EBC-120330
Controller für LPS, EBD-060330

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Datenblatt Zeichnung